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簡要描述:【產(chǎn)品名稱】1400℃-CVD管式爐【爐管尺寸】φ25--φ120mm【加熱區(qū)】300mm 【額定溫度】1400℃【控溫精度】±1℃ 【應用領域】化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法,是半導體工業(yè)中用來沉積多種材料的技術,包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。
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詳細介紹
品牌 | 三特爐業(yè) | 升溫速度(達到最高溫) | 90/min |
---|---|---|---|
加熱方式 | 電阻式 | 控溫精度 | ±1℃ |
最高溫度 | 1400℃ | 價格區(qū)間 | 面議 |
儀器種類 | 管式爐 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
應用領域 | 綜合 |
【產(chǎn)品名稱】1400℃-CVD管式爐
【爐管尺寸】φ25--φ120mm
【加熱區(qū)】300mm
【額定溫度】1400℃
【控溫精度】±1℃
【應用領域】1400℃-CVD管式爐是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法,是半導體工業(yè)中用來沉積多種材料的技術,包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。
一、 產(chǎn)品描述
系列產(chǎn)品主要針對在真空或者保護氣氛下對樣品的熱處理,優(yōu)質的爐膛材料和穩(wěn)定的溫度控制系統(tǒng),可保證實驗數(shù)據(jù)的可靠性;產(chǎn)品采用新型陶瓷纖維材料作為爐膛材料,爐管材質優(yōu)良,爐管兩端不銹鋼法蘭密封,可在真空下工作,法蘭上有進氣口和出氣口,可通入保護氣體,精密針型閥可調節(jié)進氣流量。
二、產(chǎn)品特點
1、 爐膛材料選用高純氧化鋁陶瓷纖維材料,新型拼裝結構,高溫不變形、堅固耐用
2、 發(fā)熱體采用硅碳棒,可承受負荷大,穩(wěn)定且使用壽命長
3、 爐管采用石英管,兩端不銹鋼法蘭設計簡單、合理、易拆卸,方便進出被燒結樣品
4、 升溫速度快,從室溫升到1400攝氏度,一般需要50分鐘
5、 采用智能PID溫控儀表,控溫精度高,沖溫小,具有溫度補償和溫度校正功能,精度為±1℃
6、 控溫儀表具有程序功能,可設定升溫曲線,可編程序30段
7、 一體式結構,出色的外觀設計,美觀、大方
8、 電子元器件均采用德力西產(chǎn)品,帶有漏電保護功能
9、 本機對工作過程中的超溫會發(fā)出報警信號,并自動完成保護動作
10、當儀表程序設定完成后,只要按下運行按鈕,接下來的工作會自動完成
11、可選配大屏幕無紙記錄儀,實現(xiàn)對升溫曲線的實時記錄,并帶有存儲卡可對實驗數(shù)據(jù)進行分析和打印
12、可選配氣體質量流量計,通入氣體可數(shù)字精確控制
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