真空管式爐是實(shí)驗(yàn)室常用的材料燒結(jié)設(shè)備。爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,雙層殼爐間配有風(fēng)冷系統(tǒng),可以快速升降溫,小編今天帶您了解管式爐有哪些種類呢?
1、從溫度和加熱元件看,1200℃的電阻絲管式爐、1400℃的硅碳棒管式爐和1700度的硅鉬棒管式爐。
2、從爐管看,有石英管管式爐、不銹鋼管管式爐和剛玉管管式爐。
3、按照爐體結(jié)構(gòu)分有,水平管式爐、立式管式爐、對(duì)開管式爐、傾斜管式爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、滑動(dòng)管式爐和轉(zhuǎn)動(dòng)管式爐。
4、從溫區(qū)看,有單溫區(qū)管式爐和多溫區(qū)管式爐(雙溫區(qū)管式爐,三溫區(qū)管式爐等)。
5、從真空度看,分為高、低真空管式爐。
6、從用途看,有快速退火管式爐,CVD管式爐、PECVD管式爐等。
真空管式爐的六個(gè)保養(yǎng)建議:
一、爐子使用或長時(shí)間不用后,要在120℃左右烘烤1小時(shí),在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。
二、爐膛若采用剛玉爐管,依據(jù)剛玉材料的物理性質(zhì),各溫區(qū)的升﹑降溫速率不宜過快(≤5℃),嚴(yán)禁在爐管100℃以上取送物料。有利于爐管的熱應(yīng)力的均勻釋放,以延長爐管的使用壽命。爐膛若采用石英管,當(dāng)溫度高于1000℃時(shí),石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透(又叫析晶性)是石英管的一個(gè)固有缺陷,屬正?,F(xiàn)象。
三、管式爐在氣氛條件下使用,氣體在高溫下會(huì)膨脹,導(dǎo)致管內(nèi)壓力變大,使用者應(yīng)及時(shí)開啟針閥,排出氣體。管內(nèi)安全壓力建議值:-0.05MPa至0.05MPa
四、爐體若采用硅碳棒做加熱元件時(shí),長時(shí)間運(yùn)行,阻值會(huì)逐漸增大,這種現(xiàn)象叫“老化”。爐子在運(yùn)行一段時(shí)間后,由于硅碳棒的老化現(xiàn)象,會(huì)造成爐子的升溫速率及理想溫度達(dá)不到原來的數(shù)值。請(qǐng)適當(dāng)調(diào)節(jié)OPH值,并觀察電流表主電流在合適的大小。個(gè)別元件由于某中原因損壞需更換時(shí),要根據(jù)當(dāng)時(shí)其它元件阻值的增長情況,選補(bǔ)阻值適宜的元件,不可隨意更換新元件。若元件損壞較多或阻值增長過大,無法達(dá)到所需爐溫時(shí)好全部更換成新元件。
五、冷爐使用時(shí),由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐管。
六、定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好,應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。